低温技术在电子显微镜真空系统中的应用

低温技术在电子显微镜真空系统中的应用
张晓凯山东师范大学分析浏试中心
主题词：电子显微镜、典空系统、低温技术。
内容提要首先对电镜典空系统中采用低温技术的几个实例进行了论述, 并分析了采取低溢措施后, 电镜的部分技术指标得到了提高。这些改善措施对飞高分辨率电子显微学研究工作是有利的。以日立一型电子显微镜为实任加以说明。
在科学技术飞速发展的今天, 人们更加希望能将探索微观世界的强有力工具—电镜的技术指标提高到更高的水平。然而, 最近几年来仪器的改进实际上是大量的小改进的结果。
这些措施是改善样品台的热稳定性, 生产稳定的测角倾动台, 进一步提高真空度, 设置防污染装置, 提高电子线路的稳定性以及实现可减小维护和停机时间的许多方便的功能等。

点击下载全文：低温技术在电子显微镜真空系统中的应用